ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ການນຳໃຊ້ແຜ່ນທອງແດງມ້ວນແບບກຳນົດເອງ — ຈາກການວິເຄາະຂະບວນການຈົນເຖິງການສ້າງຄວາມເຂັ້ມແຂງໃຫ້ແກ່ອຸດສາຫະກຳ

ແຜ່ນທອງແດງມ້ວນມີບົດບາດສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ກ້າວໜ້າເຊັ່ນ: ວົງຈອນເອເລັກໂຕຣນິກ, ແບັດເຕີຣີພະລັງງານໃໝ່, ແລະ ການປ້ອງກັນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ. ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງມັນຖືກກຳນົດໂດຍຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຂະບວນການຜະລິດ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການປັບຕົວໄດ້. ບົດຄວາມນີ້ສຳຫຼວດການເດີນທາງການຜະລິດຢ່າງເຕັມທີ່ຂອງແຜ່ນເຫຼັກມ້ວນແຜ່ນທອງແດງຈາກທັດສະນະວິຊາຊີບ ແລະ ອະທິບາຍວິທີທີ່ມັນສ້າງຄວາມເຂັ້ມແຂງໃຫ້ແກ່ອຸດສາຫະກຳທີ່ທັນສະໄໝຜ່ານວິທີແກ້ໄຂທີ່ເໝາະສົມ.

I. ຂະບວນການຜະລິດທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານ: ການດຸ່ນດ່ຽງຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ປະສິດທິພາບ

1. ການຫລໍ່ທອງແດງ: ຈຸດເລີ່ມຕົ້ນຂອງຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ໂຄງສ້າງ
ໂດຍການໃຊ້ທອງແດງເອເລັກໂຕຣໄລຕິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (≥99.99%), ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວຈະຖືກລະລາຍດ້ວຍສູນຍາກາດ ແລະ ຫລໍ່ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນແທ່ງທີ່ມີຄວາມໜາ 100–200 ມມ. ອັດຕາການເຮັດຄວາມເຢັນແມ່ນຖືກຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນເມັດທີ່ລະອຽດ ແລະ ເປັນເອກະພາບ ແລະ ປ້ອງກັນຮອຍແຕກໃນລະຫວ່າງການມ້ວນຕໍ່ມາ.

2. ການມ້ວນຮ້ອນ: ຂັ້ນຕອນທຳອິດໃນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາ
ແທ່ງທອງແດງຖືກລີດຮ້ອນໃຫ້ໜາ 5–10 ມມ ທີ່ອຸນຫະພູມ 700–900°C ໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງບົດທີ່ສາມາດປ່ຽນໄດ້. ການຫລໍ່ລື່ນແບບໄດນາມິກຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ຂອງລູກກິ້ງ ແລະ ບັນເທົາຄວາມກົດດັນພາຍໃນຈາກການຫລໍ່, ວາງພື້ນຖານສຳລັບການລີດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

3. ການດອງ: ການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວ
ສ່ວນປະສົມກົດໄນຕຣິກ-ຊູນຟູຣິກ (ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ 10–15%) ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກໍາຈັດການຜຸພັງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ການຂັດເງົາດ້ວຍໄຟຟ້າຈະຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (Ra) ໃຫ້ຕໍ່າກວ່າ 0.2 μm, ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນການມ້ວນຕື່ມອີກ.

4. ການມ້ວນແບບແມ່ນຍໍາ: ບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບໄມຄຣອນ
ການມ້ວນເຢັນຫຼາຍຄັ້ງຊ່ວຍຫຼຸດຄວາມໜາຂອງທອງແດງລົງເຫຼືອ 0.1–0.2 ມມ. ດ້ວຍເຄື່ອງບົດທີ່ມີຄວາມແຂງແກ່ນສູງ ແລະ ເຄື່ອງວັດຄວາມໜາດ້ວຍເລເຊີ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ±2μm), ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຈະຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 1%. ແຮງມ້ວນ ແລະ ຄວາມຕຶງຄຽດຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອປ້ອງກັນຮອຍແຕກຂອງຂອບ.

5. ການມ້ວນຟອຍ: ການສ້າງພື້ນຜິວທີ່ບາງພິເສດ
ໂຮງສີຟອຍທີ່ທັນສະໄໝໃຊ້ການປັບຊ່ອງຫວ່າງຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ການຫຼໍ່ລື່ນຟິມນ້ຳມັນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມໜາ 9–90 μm. ຜິວໜ້າສຳເລັດຮູບເກີນມາດຕະຖານ ISO 1302 ເກຣດ 12, ເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ຜົນກະທົບຜິວໜັງຄວາມຖີ່ສູງ 5G.

6. ການກຳຈັດໄຂມັນ: ຂັ້ນຕອນສຸດທ້າຍເພື່ອຄວາມສະອາດຂອງພື້ນຜິວ
ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງປະສົມກັບການກຳຈັດໄຂມັນດ້ວຍດ່າງ (pH 11–13) ຈະກຳຈັດນ້ຳມັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ອອກ. ສານຄາບອນທີ່ເຫຼືອຖືກຄວບຄຸມພາຍໃຕ້ 5 ມກ/ມ², ເຊິ່ງເປັນພື້ນຖານທີ່ສະອາດສຳລັບການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ.

7. ການຕັດ ແລະ ການຫຸ້ມຫໍ່: ຄວາມແມ່ນຍໍາທາງອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີຄຸນນະພາບດ້ານຄວາມງາມ
ໃບມີດເຄືອບເພັດມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມກວ້າງ ±0.1 ມມ. ຜະລິດຕະພັນຖືກບັນຈຸໃນສູນຍາກາດໃນຟິມຕ້ານການຜຸພັງ ແລະ ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນສະພາບທີ່ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ (25±2°C, ≤70% RH) ເພື່ອຮັບປະກັນການຂົນສົ່ງທີ່ໝັ້ນຄົງ.

II. ການປະມວນຜົນທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້: ເສີມຂະຫຍາຍໜ້າທີ່ສະເພາະຂອງອຸດສາຫະກໍາ

1. ການອົບແຫ້ງ: ການປັບແຕ່ງຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ

ອຸນຫະພູມອ່ອນ (O):ອົບແຫ້ງທີ່ອຸນຫະພູມ 400–600°C ພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດ H₂/N₂ ເປັນເວລາ 2–4 ຊົ່ວໂມງ. ຄວາມຕ້ານທານແຮງດຶງຫຼຸດລົງເຖິງ 200–250MPa ແລະ ການຍືດຕົວເພີ່ມຂຶ້ນເຖິງ 25–40%, ເໝາະສຳລັບການບິດງໍແບບໄດນາມິກຂອງວົງຈອນຍືດຫຍຸ່ນ.

ອາລົມແຂງ (H):ຮັກສາຄວາມແຂງແຮງທີ່ແຂງກະດ້າງຈາກວຽກ (400–500MPa), ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນ IC.

2. ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ: ການຍົກລະດັບໜ້າທີ່ການໃຊ້ງານ

ການຫຍາບ:ການກັດເຊາະທາງເຄມີເຮັດໃຫ້ເກີດຕຸ່ມຂະໜາດ 1–2μm, ເຊິ່ງເພີ່ມການຍຶດຕິດຂອງເຣຊິນເປັນ 1.5N/mm ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ—ແກ້ໄຂບັນຫາການແຍກສ່ວນໃນກະດານ 5G.

ການຊຸບນິກເກີນ/ກົ່ວ:ການເຄືອບ 0.1–0.3μm ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ 10 ເທົ່າ, ເໝາະສຳລັບແຖບແບັດເຕີຣີ EV.

ການເຄືອບອຸນຫະພູມສູງ:ການເຄືອບສັງກະສີນາໂນຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຟອຍທີ່ 300°C, ຮັບໃຊ້ຄວາມຕ້ອງການສາຍໄຟໃນການບິນອະວະກາດ.

III. ເສີມສ້າງອຸດສາຫະກໍາທີ່ສໍາຄັນຜ່ານນະວັດຕະກໍາຂະບວນການ

ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ:ຟອຍ 9μm ຈັບຄູ່ກັບການເຮັດໃຫ້ຫຍາບຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນກະດານ HDI ຕໍ່າກວ່າ 12μm, ເຊິ່ງເປັນພະລັງໃນການຫຍໍ້ຂະໜາດໂທລະສັບສະຫຼາດ.

ແບັດເຕີຣີລົດໄຟຟ້າ:ຟອຍອ່ອນທີ່ມີຄວາມຍືດຕົວ ≥20% ທົນທານຕໍ່ການງໍຫູໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 3000 ຄັ້ງ, ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງແບັດເຕີຣີ.

ການປ້ອງກັນ EMI:ຟອຍຊຸບນິກເກີນມີການປ້ອງກັນ 120dB ທີ່ 10GHz, ເໝາະສຳລັບໂຄງສ້າງພື້ນຖານສູນຂໍ້ມູນ.

IV. CIVEN METAL: ການກຳນົດມາດຕະຖານໃນວິທີແກ້ໄຂຟອຍທອງແດງທີ່ກຳນົດເອງ

ໃນຖານະຜູ້ນໍາໃນແຜ່ນທອງແດງມ້ວນການຜະລິດ,ຊີເວນ ເມທັລໄດ້ພັດທະນາລະບົບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເຊິ່ງປະສົມປະສານຂະບວນການມາດຕະຖານກັບການປັບແຕ່ງແບບໂມດູນ:

ໂຮງງານທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ ແລະ ການຄວບຄຸມ MES ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມໜາ ±2μm ແລະ ຄວາມຮາບພຽງ ≤1I.

ເຕົາອົບອົບທີ່ສາມາດຕັ້ງໂປຣແກຣມໄດ້ສາມາດຈັດການຄຳສັ່ງທີ່ເປັນເອກະລັກໄດ້ເຖິງ 20 ຄຳສັ່ງຊື້ພ້ອມໆກັນ.

“ຫ້ອງສະໝຸດການປະຕິບັດໜ້າດິນ” ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງປະກອບມີ 12 ປະເພດການເຮັດໃຫ້ຫຍາບ ແລະ 8 ທາງເລືອກໃນການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າ, ພ້ອມດ້ວຍຮອບວຽນຕອບສະໜອງ 72 ຊົ່ວໂມງ.

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ ແລະ ການຈັດຊື້ແບບຈຳນວນຫຼາຍຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນລາຄາຟອຍທີ່ກຳນົດເອງໄດ້ 15–20% ເມື່ອທຽບກັບລະດັບສະເລ່ຍຂອງຕະຫຼາດ.

ຈາກແທ່ງໂລຫະຂະໜາດມິນລິແມັດ ຈົນເຖິງແຜ່ນຟອຍບາງໆລະດັບໄມຄຣອນ, ການຜະລິດແຜ່ນຟອຍທອງແດງມ້ວນແມ່ນການເຕັ້ນຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ ແລະ ວິສະວະກຳຄວາມແມ່ນຍຳ. ໃນຂະນະທີ່ການປະຕິວັດ 5G ແລະ ພະລັງງານກຳລັງເກີດຂຶ້ນ, ມີພຽງບໍລິສັດທີ່ລວມເອົາຄວາມແມ່ນຍຳມາດຕະຖານເຂົ້າກັບການປັບແຕ່ງຢ່າງເລິກເຊິ່ງເທົ່ານັ້ນທີ່ສາມາດຢູ່ແຖວໜ້າໄດ້.ຊີເວນ ເມທັລກຳລັງຊຸກຍູ້ການຫັນປ່ຽນນີ້, ຊ່ວຍເຫຼືອຈີນແຜ່ນທອງແດງອຸດສາຫະກຳປີນຂຶ້ນສູ່ລະບົບຕ່ອງໂສ້ມູນຄ່າໂລກ.